日前，在位于亦庄的北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，研发人员在车间内对高密度等离子硅刻蚀机进行调试。
换上消过毒的外衣，戴上一次性卫生帽、手套和口罩，还得套上软底的“无声鞋”，才算是符合了进入生产车间的标准。如此“全副武装”一番之后，记者全身早已是大汗淋漓。
“这样的准备，是为了确保生产车间内无尘无菌的环境。”北方微电子市场部部长张玮一边说着，一边带记者走进车间。
走进位于亦庄开发区内的北方微电子生产车间，明亮的灯光下，4名技术人员正围在一台刻蚀机前进行组装工作。“我们现在正在组装刻蚀机的射频控制系统。”技术员王宇手中拿着一把力矩扳手，正在仔细比对螺母的角度。
刻蚀机是个宽1米多，高达2米的“大家伙”，组装这样大的机器，为什么连一个小螺母的角度都得这样仔细比对？
“刻蚀机是在电子芯片上做‘针尖微雕’的工作，装配中可不能有任何一点马虎，否则就会影响使用效果。”张玮说，这样一台刻蚀机，光是机械零配件就有十几万个，组装一台至少需要一个月的时间。
不过，这样的耗时耗力却能给企业带来丰厚的回报。
作为国内首家集成电路高端装备制造企业，北方微电子肩负着给中芯国际等芯片制造商提供装备的重任，每台刻蚀机的价格都在千万元级别。今年一季度，在芯片产业回暖的情况下，北方微电子接连签下了好几笔“大单”，生产车间也是开足马力，全速生产。
放眼看去，整个车间里还有好几台刻蚀机正在组装之中，技术人员来来往往，一片繁忙景象。
“去年一季度我们的刻蚀机产量是3台，而目前正在生产的就有12台。”张玮说，北方微电子一季度实现工业产值3200万元，与去年同期相比翻了三倍多。
“今年我们计划增加30%的生产规模以扩充产能，并全面保障人员和产品研发经费的投入。”北方微电子相关负责人透露，到今年年底，将实现整个设备业务板块生产能力和产值翻一番。
今年以来，在亦庄开发区内，增资扩产的企业不仅仅是北方微电子一家。亦庄开发区产业促进局相关负责人介绍说，今年一季度，开发区吸引投资总体良好，尤其是外商投资积极踊跃，增长幅度较大。项目签约数量和质量都得到了进一步提升。
据统计，今年一季度亦庄开发区新批内外资企业投资总额(含增资)折合16亿美元，完成全年任务的33%；其中仅外资企业投资额就达到了12.6亿美元，同比增长174%。此外，一季度亦庄开发区核准内资项目投资112亿元人民币，同比增长124%。
康宁为京东方八代线配套，增资2.4亿美元；第一三共制药增资1.46亿美元；三洋能源增资1.45亿美元……国际知名的制造业企业，纷纷将大笔投资投向亦庄。据统计，今年一季度，亦庄的外商投资势头良好，开发区内原有企业增资同比增长高达252%，新设企业投资额也增长近100%，相应带动合同外资额增长70%。“这说明老企业的市场需求旺盛，发展后劲十足，企业在华投资信心坚定。”亦庄开发区相关负责人表示，一季度新批的外资企业几乎全部为生产性服务行业，如技术开发、工业贸易、技术咨询等。
“二季度，亦庄开发区还将进行一系列的签约，促进项目落地。”亦庄开发区产业促进局相关负责人表示，签约项目包括中金增储投资基金项目；中金金融认证中心项目；原子高科同位素药物研发生产基地项目；国家环境服务产业园项目；新兴际华亦庄国际贸易港项目；以及中航国际新能源发展公司总部项目等。这些项目涉及的投资总额达500多亿元，预计投入运营后，可实现营业收入约1500亿元。
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